LAMBDA准分子增强铝膜反射镜（XER）
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准分子增强铝膜反射镜（XER） ØEnhanced reflectance at Excimer wavelengths•在准分子波长处增强反射率 材质UV grade Fused Silica表面质量：< 10/5表面平整度：<
耗材描述
准分子增强铝膜反射镜（XER）
ØEnhanced reflectance at Excimer wavelengths
•在准分子波长处增强反射率
材质 | UV grade Fused Silica |
表面质量： | < 10/5 |
表面平整度： | < λ / 10 @ 633 nm |
直径公差： | < + 0.00 / - 0.20 mm |
厚度公差： | < ± 0.25 mm |
通光孔径： | > 85% of diameter |
斜角： | 0.35 mm (typical) x 45° |
涂层： | Enhanced Aluminum |
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