Edmund极紫外平面反射镜
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极紫外平面反射镜Ø**可实现 13.5nm 反射Ø专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计Ø5°和45°自动光学检验的可用版本极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现**反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基
极紫外平面反射镜Ø**可实现 13.5nm 反射Ø专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计Ø5°和45°自动光学检验的可用版本极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现**反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基