耗材描述

TEKMAR-ATOMX，VOC过滤器，部件号：14-5661-016

 

描述

用于净化气体供应的VOC过滤器

过滤模块

与Atomx、Lumin和Stratum兼容

 

 

 

 

PENCIL FILTER  Part number：14-5661-016

 

Describe：

VOC filter for purge gas supply

Filter Flow Module

Compatible with the Atomx, Lumin and Stratum

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