气体	规格	杂质含量（ppm)
CO2	99.9995％	N2Q1.5  O2Q1.0 H20Q1.5 总烃Q1.0
CO2	99.999％	N2Q4.0  O2Q2.0 H20Q3.0 总烃Q1.0
CO2	99.995 ％	N2Q20.0 O2Q8.0 H20Q8.0 总烃Q2.0
CO2	99.95 ％	N2Q280. O2Q60. H20Q20. 总烃Q10.
He	99.999 -  99.9996％	H2Q0.   O2+ArQ2 N2Q5 CO2Q0.5 CH4Q0.5   NeQ0.5  CO2Q0.5 COQ0.5       H2<3
He	99.99 -  99.995％	Ne<1.0   CO<1.0 CH4<1.0 CO2<1.0 O2+Ar<10 H2O<10
Ar	99.999％	N2≤5.0   O2≤2.0  H2≤1.0   CH4≤2.0  H2O≤4.0
N2	99．999％	O2≤3.0   H2≤1.0  CH4≤3.0  H2O≤5.0
H2	99．999％	N2≤5.0   O2<2.0   H2O<2.0
O2	99.995％	Ar<10.0   N2<20.0  H2O≤3.0  CO+CO2+CH4≤3.0
O2	99.999％	Ar≤2.0   N2≤5.0  H2O≤2.0  CO+CO2+CH4≤1.0
CH4	99.995％	O2 (Ar)≤5.0  N2≤15.0  H2≤5.0   C2H6≤15.0  H2O≤5.0
CH4	99.99％	O2(Ar)≤10.0  N2≤35.0  H2≤10.0  C2H6≤25.0  H2O≤15.0
CH4	99.9％	O2(Ar)≤50.0  N2≤250.0 H2≤ 50.0 C2H6≤500.0 H2O≤50.0
CO	99.95％	O2≤150.0   N2≤300.0   H2O≤20.0
CO	99.9％	O2≤300.0   N2≤600.0   H2O≤50.0
NH3	99.999％	O2≤2.0 N2≤5.0  CO+CO2+CH4≤2.0  H2O≤5.0  总杂质含量≤10.0
Ne	99.999％	N2<2.0  CO<0.05   He<6.0  H2O<1.0  O2+Ar<1.0  CH4<1.0    CO2<0.5           H2<1.0
Kr	99.999％	CO2<0.5  O2<0.5  CO<0.3  He<3.0  H2≤1.0 CH4<0.2   H2O<1.0   N2<2.0   Ar<0.5  Xe<2.0  C2F6≤0.1       CF4≤0.1  SF6≤0.1
Xe	99.999％	N2<2.0  H2O<2.0  O2<0.5  Ar<0.5  CO<0.3  Kr<0.5   CF4 0.1   SF6≤ 0.1        C2F6< 0.1       CO2<0.5 总径<0.1
SF6	99.99％	N2+O2<0.03%  H2O<3.0  CF4<0.03%
HCI	99.995％	N2<5.0  O2+Ar<2.0  CO<1.0  CO2<1.0  H2O<1.0  Co<0.1   Cr<0.1  Cu<0.1     Fe<0.5  Ni<0.1  THC<1.0
H2S	99.99％	N2+O2<50            CO2<30  H2O<10  THC<1
SO2	99．99％

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