质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准: 
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 
标准温度………………0℃（273.15K） 
标准压强………………101325Pa
输入和输出: 
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA 
输出电压检测…………0～+5.00V


技术参数：

满量程流量范围（N2）		5SCCM～10SLM
控制范围		2～100％F.S.
准确度		±1.5％F.S.
线性		±0.5～1.5％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤7sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差		＜0.01MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10-8atm.cc/sec He
密封材料		氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式		DB15 pin(Female)
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/4”或φ6、φ3
抗电磁干扰		CE
重量		0.92Kg

主要特点：
★高性能价格比、普通型产品 
★橡胶密封、模拟电路的MFM 
★7B型的更新换代型 
★管状分流，使用寿命长

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途