质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准: 
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 
标准温度………………0℃（273.15K） 
标准压强………………101325Pa
输入和输出: 
输入电源………………+15V,50mA;-15V,50mA 
输出电压检测…………0～+5.00V


技术参数：

满量程流量范围（N2）		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤1sec
温度系数		Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃
工作温度范围		5～45℃
工作压差		＜0.02MPa
耐压		10MPa
漏气率		1×10-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		1Kg

主要特点：
★高精度，快响应型 
★橡胶密封、模拟电路的MFM 
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 
★国际兼容

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途