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蓝宝石衬底/基片

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产品介绍

EPi-Ready Polished Sapphire Substrate

蓝宝石衬底/基片, 开盒即用外延生长级抛光

Crystal Materials 晶体材料 99.995% High Purity, 2-3 Grade Monocrystalline Al2O3, 高纯单晶
Wafer Surface Orientation 晶向 C-axis(0001) offset to M (1-100) / A (11-20) 0.2°±0.05° / 0.3°±0.1° / ±0.25°
Diameter 直径 50.8mm ± 0.1mm / 76.2mm ± 0.25mm / 100.0 ± 0.40mm / 125.0 ± 0.3mm / 150.0 ± 0.3mm
Thickness 厚度 330um ± 15um 430um ± 10um 650um ± 10um
Major Flat 定位边 A-axis (1 1-2 0) ± 0.2° 方向
Major Flat Length 16.0mm ± 1.0mm / 22.0mm ± 1.0mm / 32.5 ± 1.0mm / 47.5 ± 2.5mm 长度
Minor 次定位边 None 无
Front Surface Finish 正面状态 Epi-ready polished 外延生长级抛光, Ra< 0.2nm
Back Surface 反面 SSP 单面: Fine ground 精研磨, Ra 0.4 to 1.0 um; DSP 双面: Polished 抛光
Edge condition 边 Edge defects not to exceed SEMI M3-91, 符合 SEMI M3-91
TTV 厚度变化 <15um <10um <10um
BOW 挠度 <15um <10um <10um
Warp 弯曲 <15um <10um <10um
Bubble & Color 微气孔及色泽 None by visual inspection in intensive light 强光灯下不可见
Ground Boundary 晶界 None by visual inspection in fluorescent light 日光灯下不可见
Cleanliness 清洗 Free visible contamination 无见任何可见杂物
Packaging 包装 Packaged in a class 100 clean room environment, in cassettes of 25pcs or single fluroware, under a nitrogen atmosphere. 100级洁净室真空冲氮包装,25片卡盒/单片币式
Note 备注

R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0 ), and M-plane(1-1 0 0) are available; Customer's specification not listed above is also available upon request. 同时我们生产R-面,A-面和M-面蓝宝石基片;我们接受客户的特殊规格的定货

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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途