硅片专用抛光液

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产品介绍

GLANZOX 系列硅片专用抛光液

GLANZOX 系列抛光液是专用于硅芯片的抛光液，随着近年来的硅组件电路的发展，对硅芯片面精度的要求已越来越严格。而 GLANZOX 系列产品正是针对硅芯片抛光所发展出来的产品。

Principal physical and performance characteristics of GLANZOX

	SP - 30	HP - 20	3000	7008HI	3900	3900RS
Main component	SiO2 (Colloidal)	Super-pure SiO2 (Colloidal)	SiO2 (Colloidal)	SiO2 (Colloidal)	Super-pure SiO2 (Colloidal)	Super-pure SiO2 (Colloidal)
SiO2	30	17.5	9.1	9.1	9.1	9.1
PH	11.5	11.4	10.8	10.5	10.5	10.5
Specific gravity	1.20	1.11	1.05	1.05	1.05	1.05
Average particle size(nm)	10 ~ 20	30 ~ 40	62 ~ 82	30 ~ 40	30 ~ 40	30 ~ 40
Polishing rate(μm/min)	0.5 ~ 1.0	0.8 ~ 1.4	─	─	─	─
Application	For first and second polishing		For final polishing
Standard packaging	2kg plastic bottle		20kg cubitain
※ * Drum packing is available.

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