技术参数： 输入稀释气体：1个标准口 输入源气体：2个标准口，一个清洁口 追加输入：可2个 稀释气体质量流量控制器：0-10SLM 可选量程：0-20SLM 源气体质量流量控制器：0-100SCCM 可选量程：0-1SLPM 第二个源气体质量流量控制器：0-1SLPM 流量精度：1%满量程 流量重现性：0.15%满量程 线性：0.5%满量程 输入压力：20-35PSIG 输出接口：4个标准输出口 可选：内部O3发生器

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途