质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准: 
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 
标准温度………………0℃（273.15K） 
标准压强………………101325Pa
输入和输出: 
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA 
输入设定电压…………0～+5.00V 
输出电压检测…………0～+5.00V


技术参数：

满量程流量范围（N2）		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）		电磁调节阀（常闭）
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
温度系数		Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃
响应时间		≤1sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
	＞10SLM	0.1～0.3MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		1.2Kg

主要特点：
★高精度，快响应型 
★橡胶密封、模拟电路的MFC 
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 
★国际兼容