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SUSSSUSS微透镜阵列产品

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SUSS微透镜阵列产品SUSS MicroOptics通过使用反应离子蚀刻(RIE)将所需结构转移到基板,在硅和熔融石英中以晶圆级制造定制单片微光学器件。 该技术提供了出色的分辨率和均匀性,并且可以结合复杂的形式,例如沟槽,空腔,基座,对准点