XYZ 轴交叉滚柱培林奈米级精密微调移动平台 - 20nm 分厘卡头

06FAS-3LNM

06FAS-3RNM

06FAS-3LNM+3RNM示意图

* 各轴移动平台运动方式都采用线性交叉滚柱轴承。

* 线性交叉滚柱轴承设计提供更大荷重量和更高精度和直线性的功能。

* 和交叉滚柱轴承接触的轨道由抛光的轴承钢材研磨制成, 以确保长期使用的平滑度及精性。

* 各轴内有一组预压弹簧可阻抗分厘卡头顶端以消除间隙产生。

* 分厘卡头推进平台到所需位置后，旋紧各轴侧面小螺丝旋钮 (Y 轴无) 予以固定之。

* 各轴皆具有粗调和微调功能。

* 粗调: 移动距离：8mm，移动解析度1μm。

* 微调: 移动距离：300μm，移动解析度：20nm ( 非线性)。

* 角度偏差：各轴在分厘卡头所推进平台移动时上下摆动量(pitch) <25 弧秒(arcsec)；在分厘卡头所推进平台移动时左右摆动量(yaw) <15 弧秒(arcsec)。

* 工作台面上有 M6 (1/4-20) 和 M4 (8-32) 两种螺纹牙，底板上有单向长槽孔方便固定于光学桌，面包板和其他元件上。

* 适合长期平滑及稳定的需求。

* 可忽略不计间隙 (backlash) 的螺旋测微器 ( 分厘卡头)。

* **荷重：15Kgs。

* 在主动/ 被动光纤元件对准调校上有着极为优异的表现。

* 有左手、右手操作方式两种选择。

* 随产品附雷射干涉仪检验报告。