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Micro-Hybrid四通道多气红外热电堆探测器

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四通道多气红外热电堆探测器通道红外热电堆检测器,用于带有单独滤光片组合的气体分析•高达7.2x108 cm x Hz1 / 2 / W的高探测灵敏度灵敏度高达295 V / W•多气体测量•可单独组合的滤光片描述基于MEMS技术的高灵敏度热电