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Micro-Hybrid双通道二氧化硫红外热电堆探测器

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双通道二氧化硫红外热电堆探测器通道红外热电堆检测器气体分析SO2测量/参考•高达7.2x108 cm x Hz1 / 2 / W的高探测灵敏度•高达295 V / W的高灵敏度描述基于MEMS技术的高灵敏度热电偶双探测器,带有用于气体分析的窄