黑色硅红外辐射源，TO39，带盖

具有真正黑体辐射功率的红外辐射器，用于要求苛刻的气体分析应用

•真正的黑体辐射特性

•膜片经过热机械调整，使用寿命长

•无光谱漂移

描述

具有黑色硅发射层基于MEMS的红外发射器，可用于长波范围的NDIR气体分析，用于要求苛刻的医疗和工业应用。

通过在MEMS加热板发射器芯片上实现高度发展的微纳米结构的硅金属发射层，Micro-Hybrid可提供具有真实黑体辐射特性的红外源。强大的红外发射器MEMS芯片由高达850°C的加热板温度与近1倍的光谱宽带发射系数共同定义。这样可以在很宽的红外波长范围内实现较高的辐射强度。除了高红外输出强度外，我们成功开发的重点还在于长期稳定性。

JSIR 360光源可用于带盖或反射器的各种TO外壳和SMD外壳。密封的TO外壳中的各种回填气体确保了更低的功率损耗。例如电池供电的应用。我们的红外发射器中使用的MEMS芯片由多层加热板膜组成，该膜包含高温稳定的金属加热层以及先进的硅金属微纳米结构表面。最终的钝化层保证了在高达850°C的热板温度下发射行为的长期稳定性。发射极芯片基于硅基板，背面蚀刻有膜。所有薄膜工艺均使用兼容CMOS的材料进行。

技术指标