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Micro-Hybrid单通道二氧化硫红外热电堆探测器

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单通道二氧化硫红外热电堆探测器通道红外热电堆探测器,用于气体分析,用于SO2测量•高达7.2x108 cm x Hz1 / 2 / W的高探测灵敏度•高达295 V / W的高灵敏度•应用优化的光学滤光片描述基于MEMS技术的高灵敏度热电堆单