Micro-Hybrid双通道二氧化碳红外热电堆探测器
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双通道二氧化碳红外热电堆探测器通道红外热电堆探测器,用于通过参考通道对气体进行CO2测量的气体分析•高达7.2x108 cm x Hz1 / 2 / W的高探测灵敏度•高达295 V / W的高灵敏度•应用优化的光学滤光片描述基于MEMS技术
双通道二氧化碳红外热电堆探测器通道红外热电堆探测器,用于通过参考通道对气体进行CO2测量的气体分析•高达7.2x108 cm x Hz1 / 2 / W的高探测灵敏度•高达295 V / W的高灵敏度•应用优化的光学滤光片描述基于MEMS技术