反射镜，输出耦合器和镜头

图1：157nm的激光镜（AOI = 0°，a）和转向镜（AOI = 45°，b）的测量反射率和透射光谱

Ø激光镜：AO = 0°时R = 92 ... 95％

Ø转向镜（AOI = 45°）：

ØRs
> 97%

ØRp
> 90%

ØRr
> 92%

ØCaF2的高品质镜面基板，窗口片和镜片（肖特公司157nm受激准分子级品质）

Ø具有公差的PR涂层

ر 2 % for R = 10 ... 30 %

ر 3 % for R = 30 ... 75 % and

ر 2 % for R = 75 ... 90 %

Ø根据客户要求开发和生产特定组件，例如分束器和可变衰减器

图2：标准输出耦合器在R = 50±3％和R = 25±2％时测得的反射光谱（背面未镀膜）

可变衰减器

图3：可变衰减器在不同AOI（a）和透射率与AOI（b）下测得的透射光谱透射率从AOI = 0°时的T> 75％到AOI = 45°时的T <5％

F2激光铝镜

图4：受保护的Al镜（a）和增强型Al镜在157nm下的反射光谱（b）

受保护的铝镜（针对157nm进行了优化）：R = 74 ... 78％

电介质增强型铝镜：AOI = 0°时R = 94％

有关铝镜的更多信息，请参阅我们的目录中的第96 - 97页。

标准F2激光组件的技术数据

*能量密度：25mJ / cm2，重复频率：800Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

**能量密度：15mJ / cm 2，速率：200Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试

***能量密度：20 mJ / cm2，速率：50Hz，脉冲持续时间：20ns; 在光电技术研究所（IPHT）耶拿研究所进行测试