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高精密电控平移台◆ 绝定位精度:±5μm◆ 重复定位精度:±1μm◆ 偏摆:15’’◆ 俯仰:15’’◆ 分辨率:0.5μm◆ **速度:40mm/s◆ 行程:100mm
高精密电控平移台
◆ 绝定位精度:±5μm
◆ 重复定位精度:±1μm
◆ 偏摆:15’’
◆ 俯仰:15’’
◆ 分辨率:0.5μm
◆ **速度:40mm/s
◆ 行程:100mm
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