艾必利™准分子激光混合气

艾必利™(Experis^®)准分子激光混合气
便捷的本地化供应

准分子激光混合气是将卤化物（氟/氯）和稀有气体（氪、氖或氙）进行混合，从而在深紫外线范围内产生激光。凭借着30多年生产艾必利混合气体的丰富经验，空气产品公司生产的艾必利准分子激光混合气成分精准稳定，杂质含量超低，适合准分子光刻应用。本地化生产，让您无需再从欧美进口，节省时间和成本。

艾必利准分子激光混合气的优势：

• 准分子激光混合成分稳定性更高、保质期更长

• 水氧等影响卤化物稳定性的杂质含量更低

• 无锡工厂本地化生产，快速响应您的需求

• 配合本地化生产的6N超高纯气体和稀有气体，供应更可靠、便捷