PLAZMARK 氧气清洗专用等离子指示剂

PLAZMARK 氧气清洗专用等离子指示剂适用于检测各类自由基等离子体。可检测氧气、氮气、空气、四氟化碳、氢气、氨气等自由基等离子（氩等离子在部分工况下也会产生显色变化）。产品对氧自由基敏感，同样可用于紫外清洗、紫外臭氧清洗工艺检测。

适用工艺场景：

1. 金属电镀前工件表面活化处理检测

2. 引线键合、倒装芯片键合前等离子预处理验证

3. 元器件贴装后、底部填充工序前的等离子清洗效果检测

提供3种不同的灵敏度类型和3种不同的形状类型：

变色：

低频电源等离子体处理设备 [O₂]                                                                

                                                      用于射频等离子体处理的平行板式反应堆

平面内均匀性评估的作用：

均匀性可以通过颜色变化来评估                                                                                                                                   色差映射示例（1000 sccm，1.0千瓦

PLAZMARK 氧气清洗专用等离子指示剂规格：

加工气体（等离子体种类）：如O₂等适合自由基控制等离子体的气体（O₂、N₂、空气、CF₄、H₂、NH₃、（Ar））

第一号（高灵敏度）

第二号（中等敏感度）

第三号（低灵敏度）