PLAZMARK氩气清洗专用款

PLAZMARK氩气清洗专用款产品概述：该指示剂可提升电离氩等离子体的检测效率，氧气清洗型指示剂很难检测出电离氩等离子体。使用本指示剂能够更高效地检测电离氩等离子体，而采用氧气清洗型指示剂则难以实现检测。

但对于自由基可控等离子体、自由基气源等混合体系，氧气清洗专用指示剂的检测效果更优。

PLAZMARK氩气清洗专用款产品适用领域：

金属电镀前表面处理引线键合或倒装芯片键合前表面处理元器件贴装工序完成后、底部填充前清洗

大规模集成电路、存储器、微机电系统、LED 等电子元器件封装密封前清洗。

提供4种不同的灵敏度类型和3种不同的形状类型：

“只需放置”卡牌类型                                                                                “粘贴”标签类型                                                    “大面积分布评估”表类型

变色

处理后颜色变化与AU蚀刻速率的比较                                                    

处理后颜色变化与AU蚀刻速率的比较                                                     色彩差异与 AU 蚀刻速率的相关性

（等离子体状态：Ar = 20 Pa，RF = 80-140 W）

PLAZMARK™ 用于 AR 清洁

加工气体（等离子体种类）：如氬，适用于离子控制等离子体的气体（包括氬，稀有气体，难以通过氧气清洗检测）

No.20（超高灵敏度）

No.21（高灵敏度）

No.22（中等敏感度）

No.23（低灵敏度）