PLAZMARK耐高温指示标签

PLAZMARK耐高温指示标签产品概述：

采用全新无机显色剂与聚酰亚胺基材制成的标签式指示片，最高可耐受 200℃高温。本品柔韧性佳、粘性良好，可贴附于基材表面或等离子设备内部，便于检测判定等离子处理状态。

核心结构与材质优势：

显色层：新型无机变色剂

区别传统有机显色材料，无机色料耐高温、无高温分解失效问题；接触等离子后会发生稳定、可逆 / 不可逆显色变化，色差变化可量化，能建立色差与等离子电子密度的对应换算关系，实现等离子强度定量判断。

基材：聚酰亚胺（Polyimide）

耐 200℃高温，耐高温烘烤、等离子腔体高温环境，不会受热变形、融化、掉粉；基材自带柔性，可贴合曲面、狭小腔体内部。

背胶：高粘性耐高温压敏胶

附着力强，真空腔体、晶圆载具、设备内壁、元器件表面均可稳固粘贴，等离子处理完成后可完整撕除无残

核心功能与技术要点：

• 兼容氩气等离子检测（核心优势）

  常规 O₂氧气清洗指示剂仅对氧自由基等离子起效，难以识别电离氩等离子；本款标签可高效检测 Ar 氩等离子电离状态，适配氩离子轰击清洗工艺。

• 双场景适配检测

• 氩等离子干法清洗：依靠标签色差判断等离子电子密度，量化腔体电离强度；

• 氧自由基等离子体系：若为自由基主导的混合工艺，仍可搭配氧气指示剂做辅助验证，氧体系工况下传统氧指示剂检测效果更优。

• 可视化快速判定，无需复杂仪器

  直接贴附在基板、载具、等离子腔体内部，工艺完成后肉眼即可观察变色程度；有量化需求时，通过色差仪读取色差值，换算等离子电子浓度，直观评估等离子处理均匀度、有效作用区域。

• 柔性易贴，适配复杂工位

  轻薄可弯折，狭小腔体内壁、芯片、引线框架、MEMS 器件表面等异形位置均可粘贴，无贴合死角。

变色：

有两种不同的灵敏度类型可供选择：

色差与等离子体电子密度的对应关系：

[氡气等离子体（ICP设备）]

PLAZMARK耐高温指示标签规格：

加工气体（等离子体种类）：氪、氧、氢₂、碳₄、SF₆、氯₂

第101号（高灵敏度）

第102号（低灵敏度）