高真空技术中使用的扩散泵油，要求耐热氧化性，冷却温度下蒸汽压低，且其蒸汽压随温度变化大，沸腾温度不能过高。早期曾使用水银，目前主要使用矿油类、脂类、聚苯醚及硅......