| 气体 | 规格 | 杂质含量（ppm) |
| CO2 | 99.9995％ | N2Q1.5 O2Q1.0 H20Q1.5 总烃Q1.0 |
| CO2 | 99.999％ | N2Q4.0 O2Q2.0 H20Q3.0 总烃Q1.0 |
| CO2 | 99.995 ％ | N2Q20.0 O2Q8.0 H20Q8.0 总烃Q2.0 |
| CO2 | 99.95 ％ | N2Q280. O2Q60. H20Q20. 总烃Q10. |
| He | 99.999 - 99.9996％ | H2Q0. O2+ArQ2 N2Q5 CO2Q0.5 CH4Q0.5
NeQ0.5 CO2Q0.5 COQ0.5 H2<3 |
| He | 99.99 - 99.995％ | Ne<1.0 CO<1.0 CH4<1.0 CO2<1.0 O2+Ar<10 H2O<10 |
| Ar | 99.999％ | N2≤5.0 O2≤2.0 H2≤1.0 CH4≤2.0 H2O≤4.0 |
| N2 | 99．999％ | O2≤3.0 H2≤1.0 CH4≤3.0 H2O≤5.0 |
| H2 | 99．999％ | N2≤5.0 O2<2.0 H2O<2.0 |
| O2 | 99.995％ | Ar<10.0 N2<20.0 H2O≤3.0 CO+CO2+CH4≤3.0 |
| O2 | 99.999％ | Ar≤2.0 N2≤5.0 H2O≤2.0 CO+CO2+CH4≤1.0 |
| CH4 | 99.995％ | O2 (Ar)≤5.0 N2≤15.0 H2≤5.0 C2H6≤15.0 H2O≤5.0 |
| CH4 | 99.99％ | O2(Ar)≤10.0 N2≤35.0 H2≤10.0 C2H6≤25.0 H2O≤15.0 |
| CH4 | 99.9％ | O2(Ar)≤50.0 N2≤250.0 H2≤ 50.0 C2H6≤500.0 H2O≤50.0 |
| CO | 99.95％ | O2≤150.0 N2≤300.0 H2O≤20.0 |
| CO | 99.9％ | O2≤300.0 N2≤600.0 H2O≤50.0 |
| NH3 | 99.999％ | O2≤2.0 N2≤5.0 CO+CO2+CH4≤2.0 H2O≤5.0 总杂质含量≤10.0 |
| Ne | 99.999％ | N2<2.0 CO<0.05 He<6.0 H2O<1.0 O2+Ar<1.0 CH4<1.0
CO2<0.5 H2<1.0 |
| Kr | 99.999％ | CO2<0.5 O2<0.5 CO<0.3 He<3.0 H2≤1.0 CH4<0.2 H2O<1.0
N2<2.0 Ar<0.5 Xe<2.0 C2F6≤0.1 CF4≤0.1 SF6≤0.1 |
| Xe | 99.999％ | N2<2.0 H2O<2.0 O2<0.5 Ar<0.5 CO<0.3 Kr<0.5 CF4 0.1
SF6≤ 0.1 C2F6< 0.1 CO2<0.5 总径<0.1 |
| SF6 | 99.99％ | N2+O2<0.03% H2O<3.0 CF4<0.03% |
| HCI | 99.995％ | N2<5.0 O2+Ar<2.0 CO<1.0 CO2<1.0 H2O<1.0 Co<0.1
Cr<0.1 Cu<0.1 Fe<0.5 Ni<0.1 THC<1.0 |
| H2S | 99.99％ | N2+O2<50 CO2<30 H2O<10 THC<1 |
| SO2 | 99．99％ | |
