硅烷化作用是指将硅烷基引入到分子中，一般是取代活性氢（如：羟基hydroxyl, 羧基 carboxylic acid, 胺amine, 硫醇thiol, 磷酸盐phosphate）。活性氢被硅烷基取代后降低了化合物的极性，减少了氢键束缚。因此所形成的硅烷化衍生物更容易挥发。同时，由于含活性氢的反应位点数目减少，化合物的稳定性也得以加强。硅烷化化合物极性减弱，被测能力增强，热稳定性提高。

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