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磷酸三甲酯，512-56-1，电子级,99.99999% metals basis
| 品牌 | 厂商性质 | 产地 | 货期 |
|---|---|---|---|
| 阿拉丁 | 总代理 | 中国 | 现货 |
性能特点
产品理化性质无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水和乙醚，难溶于乙醇。产品用途 主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃
| 货号 | 规格 | CAS号 | 价格 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| T278892-100g | 100g | 512-56-1 | ￥944.90 | 询底价 |
| T278892-500g | 500g | 512-56-1 | ￥3,884.90 | 询底价 |
中文名：磷酸三甲酯
英文名：Trimethyl phosphate
中文别名：磷酸甲酯
英文别名：TMPO|NCGC00248617-01|P(O)(OCH3)3|CAS-512-56-1|EINECS 208-144-8|TRIMETHYL PHOSPHATE [HSDB]|Trimethylfosfat [Czech]|NCGC00248617-02|CCRIS 610|Tox21_302740|AI3-05905|NSC 58985|UNII-Z1E45TMW1Z|InChI=1/C3H9O4P/c1-5-8(4,6-2)7-3/h1-3H|NCGC00259125-01|EN300-19167
纯度：电子级,99.99999% metals basis
货号：T278892
Cas号：512-56-1
产品介绍：
产品理化性质
无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水和乙醚，难溶于乙醇。
产品用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
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