同向XYZ 轴交叉滚柱轴承精密微调移动平台 - 0.01mm 分厘卡头

06TSS-3LM

06TSS-3RM

06TSS-3LM+3RM

* 各轴移动平台运动方式都采用线性交叉滚柱轴承。

* 线性交叉滚柱轴承设计提供更大荷重量和更高精度和直线性的功能。

* 和交叉滚柱轴承接触的轨道由抛光的轴承钢材研磨制成，以确保长期使用的平滑度及精性。

* 各轴都使用螺旋测微器 ( 分厘卡头) 移动，以提供每一轴更高准确性的控制。

* 内有一组预压弹簧可阻抗分厘卡头顶端以移动时消除间隙产生。

* Z 轴工作平面上，提供两种不同的螺纹牙 M4 (8-32) 和 M6 (1/4-20) 使用。

* 角度偏差：各轴

在分厘卡头所推进平台移动时上下摆动量(pitch) <25 弧秒(arcsec)；

在分厘卡头所推进平台移动时左右摆动量(yaw) <15 弧秒(arcsec)。

* 3 个螺旋测微器 ( 分厘卡头) 设计于同一方向，提供操作时方便性。

* 底板两侧有 M6 (1/4-20) 长槽孔方便固定于光学桌，面包板和其他元件上。

* 各轴移动距离 13mm。

* 螺旋测微器( 分厘卡头) 最小可读刻度：0.01mm。

* 有左手、右手操作方式两种选择。

* 随产品附雷射干涉仪检验报告。