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产品分类
品牌
反射镜
Edmund极紫外 (EUV) 球面反射镜
品牌 | 厂商性质 | 产地 | 货期 |
---|---|---|---|
爱德蒙特 | 一般经销商 | 欧洲 | 现货 |
产品介绍
极紫外 (EUV) 球面反射镜
超抛光基片上的钼/硅多层镀膜
13.5nm 下可实现的**反射
设计用于 EUV 光束聚焦应用
适用于 HHG 应用的窄通带
极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计,并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS,可**程度地降低散射。这对 EUV 波长必不可少,因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄,约为 0.5nm,确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV 球面反射镜的典型应用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.
注意:
每个反射镜均附运行样本的测试数据.
产品信息
DWL (nm) | Dia. (mm) | EFL (mm) | 涂层 | 涂层规格 | 产品编码 |
13.5 | 25.40 | 250.00 | Mo/Si Multilayer Top Layer: Silicon | Rabs>60% @ 13.5nm | #11-730 |
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途