质检——精密光学测量仪器

LAYERTEC致力于确保当前和未来产品的质量。

我们先进的测量设备可用于监督基材和涂层的生产。

例如我们定期测量

Ø表面形态

Ø表面粗糙度/精加工质量

Ø光谱透射率和反射率

Ø频谱相位和GDD（如果适用）

Ø使用以OPO为光源的宽带腔衰荡设置在宽波长范围内进行高端反射率测量

Ø某些波长和脉冲长度的损伤阈值测量

精密光学测量工具

LAYERTEC的精密光学设备配备了用于平面和球形曲面的干涉仪。可以为平面度为λ/ 20（633nm）的平面基板和形状度为λ/ 10（633nm）的球形基板提供干涉测量规程。

LAYERTEC还使用高性能的Fizeau干涉仪和Twyman-Green干涉仪在以下测量范围内对大型光学器件的形状公差进行测量：

平面：

Ø**∅= 300mm

Ø测量精度：平坦度λ/ 100（546nm）

球面：

Ø**∅= 500mm

Ø测量精度：形状公差为λ/ 50（546nm）

原子力显微镜（AFM）是有用的仪器，用于表征均方根粗糙度低于5Å的非常光滑的表面。LAYERTEC具有AFM，可控制特殊的抛光过程并根据要求提供检查方案。

涂层测量工具

LAYERTEC的检查程序包括在120nm至20µm的波长范围内对镀膜光学元件进行分光光度测量。使用PERKIN ELMER分光光度计Lambda950®，Lambda750®和Lambda19®在190nm – 3200nm波长范围内进行标准分光光度测量。对于超出此波长范围的测量，LAYERTEC配备了FTIR光谱仪（对于λ=1μm...20μm）和VUV光谱仪（对于λ= 120nm ... 240nm）。

通过腔衰荡时间光谱法测量高反射率，R = 99.9 ... 99.9995％。实际上，LAYERTEC配备了各种CRDS测量系统，可以在355nm至1064nm的波长范围内使用。此外，还提供了一种新颖的宽带CRDS设置，该设置可以测量220nm至2300nm之间的低损耗反射镜的反射率。

LAYERTEC配备了LIDT测量设置，工作于266nm，355nm，532nm和1064nm且具有ns脉冲。

还可以与耶拿光子技术研究所，弗劳恩霍夫研究所耶拿Jena和汉诺威激光Zentrum合作，对光学薄膜和块状材料的吸收和散射损耗进行测量，并对激光损伤阈值进行测量。

菲索干涉仪（SOLITON MiniFIZ 300）

干涉仪（OptoTech®）

原子力显微镜（DINanoscope®）

分光光度计

腔振铃设置

GDD测量设置

低损耗光学元件的反射率和透射率的测定

低损耗光学组件的反射率值R> 99％和透射率值T> 99％可以通过腔衰荡时间测量非常精确地测量。与在光谱仪中进行测量相比，该方法具有三个主要优点：

Ø适用于非常高的反射率和透射率

Ø无法获得比实际值高的测量值

Ø精度很高

基本CRD测量设置

Layertec带有各种腔衰荡系统，通过这些系统可以稳定地控制光学组件的质量。有关更多详细信息，请参见我们的目录内容“低损耗光学器件和腔衰荡时间测量简介”。

您可以在此处下载我们的目录。

相位优化的fs-Laser宽带镜-CRD测量示例

低损耗镜-CRD测量示例

转向镜-宽带CRD测量示例

薄膜偏振片-CRD测量示例