标准件

图1：248nm转向镜（AOI = 45°）对随机偏振光的反射和透射光谱

Ø氧化物涂层具有较高的机械稳定性和较低的杂散光损耗

Ø激光镜（在248nm处为> 99％，在308nm和351nm处R> 99.5％）

Ø高品质的镜面基板，熔融石英窗口片和镜片

ØPR涂层的公差为

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75%

ر 2% for R = 75 ... 90% and

ر 1% for R > 90%

Ø开发和生产客户特定的组件

图2：可变衰减器在不同AOI下308nm处的透射光谱（a）和在308nm下AOI的透射率与AOI的透射率光谱图（b）; 透射率从AOI = 0°时的T> 85％变化到AOI = 45°时的T = 2±1％（非偏振光）

耐氟腔光学元件

图3：氟化KrF激光镜的反射光谱（a）和R = 50±3％的输出耦合器（b）

Ø氟化物涂层和CaF2基材对氟和氯具有高稳定性

Ø激光镜（在248nm和308nm时R> 98％，在351nm时R> 96％）

ØCaF2的高品质镜面基板，窗户和镜片（肖特公司248nm受激准分子级或紫外线品质）

ØPR涂层的公差为：

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75% and

ر 2% for R=75 ... >90%

KrF，XeCl和XeF激光组件的技术参数

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena进行了测量

**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试

***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脉冲持续时间：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG进行测试