Edmund极紫外 (EUV) 二向色滤光片

品牌	厂商性质	产地	货期
爱德蒙特	一般经销商	欧洲	现货

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产品介绍

极紫外 (EUV) 二向色滤光片

将 EUV 与 NIR 激光源分开
透射型熔融石英设计**限度地延长组件使用寿命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 应用

极紫外 (EUV) 二向色滤光片，也称为光束分离器，旨在通过在 EUV 和 NIR 波长之间提供高分离效率，用于高谐波产生应用。这些滤光片采用高损伤阈值多层增透膜设计，支持比布鲁斯特角光束分离器和 EUV 滤光片更高的激光功率。 EUV 二向色滤光片具有从 5nm 到 40nm 的宽带宽范围。除了产生高次谐波外，这些反射镜还可用于支持 EUV 应用的系统，例如 EUV 光刻、EUV 纳米加工和等离子体实验。

通用规格

尺寸容差 (mm):	+0.0/-0.2	直径 (mm):	50.80
厚度 (mm):	5.08 ±0.1	镀膜:	Dielectric Multilayer AR
基底:	Fused Silica	表面质量:	20-10
平行度（弧分）:	<5	面形计算 (RMS):	<λ/10 @ 633nm

产品型号

波长范围 (nm)	产品编码
10 - 25	#18-279
20 - 40	#18-280

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