质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准: 
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 
标准温度………………0℃（273.15K） 
标准压强………………101325Pa
输入和输出: 
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA 
输出电压检测…………0～+5.00V


技术参数：

满量程流量范围（N2）		5SCCM～10SLM
控制范围		2～100％F.S.
准确度		±1.5％F.S.
线性		±0.5～1.5％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤7sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差		＜0.01MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10-8atm.cc/sec He
密封材料		氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式		DB15 pin(Female)
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/4”或φ6、φ3
抗电磁干扰		CE
重量		0.92Kg

主要特点：
★高性能价格比、普通型产品 
★橡胶密封、模拟电路的MFM 
★7B型的更新换代型 
★管状分流，使用寿命长