技术参数： 输入稀释气体：1个标准口 输入源气体：2个标准口，一个清洁口 追加输入：可2个 稀释气体质量流量控制器：0-10SLM 可选量程：0-20SLM 源气体质量流量控制器：0-100SCCM 可选量程：0-1SLPM 第二个源气体质量流量控制器：0-1SLPM 流量精度：1%满量程 流量重现性：0.15%满量程 线性：0.5%满量程 输入压力：20-35PSIG 输出接口：4个标准输出口 可选：内部O3发生器