Nd:YAG和Nd:YVO4激光的高次谐波组件
Nd:YAG和Nd:YVO4激光的谐波被广泛用于材料加工以及测量应用。在这些页面上,我们介绍了用于第四次谐波(266nm)和第五次谐波(213nm)的双波长反射镜和分离器。所有设计均根据客户要求进行计算。
图1:图1:266nm和355nm双波长转向镜的反射光谱(a)和长波谐波和地面波长的四次谐波的分离器(b)
F
图2:从长波长谐波和地面波长(b)测得的五次谐波转向镜的反射光谱(a)和五次谐波分离器的反射光谱;CaF2上的氟涂层
Separator type | Centre wavelength | Reflectance at centre wavelength [%] | Reflectance at the corresponding longer Nd:YAG wavelengths [%] |
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| 266nm | 355nm | 532nm | 1064nm |
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| Rs | Rp | Rs | Rp | Rs | Rp | Rs | Rp | Rs | Rp |
3rd harmonic | 355nm | > 99.7 | > 99 |
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| < 5 | < 2 | < 10 | < 2 |
4th harmonic | 266nm | > 99.7 | > 99 |
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| < 5 | < 2 | < 10 | < 2 | < 10 | < 2 |
5th harmonic | 213nm | > 97 | > 93 | < 5 | < 2 | < 10 | < 2 | < 10 | < 2 | < 10 | < 2 |
表1:紫外线谐波分离器的通用规格
* CaF2上的氟涂层
图3:二次谐波与第四次谐波分离器的反射光谱:
(a):HR(0°,532nm)> 99.5%+ R(0°,266nm)<10%(背面未镀膜)
(b):HR(0°,532nm)> 99.9%+ R(0°,266nm)<5%(背面未镀膜)
266nm的组件通常通过电子束蒸发产生。这些涂层显示出很高的损伤阈值,但是在可见光谱范围内的反射率被限制为R> 99.5%(见图3a)。关于用于紫外线的溅射涂层的最新研究结果表明,可以生产出在VIS中具有明显改善的反射率的隔离膜,它们在紫外线下具有相似的特性(见图3b)。
图4:第四和第五谐波的隔板的反射光谱:
对于非偏振光,HRr(45°,266nm)> 98%+ Rr(45°,213nm)<10%
a)为低杂散损耗而优化的氧化物涂层(背面未涂层)
b)氟化物涂层具有较高的激光诱导损伤阈值(背面未涂层)
213nm的五次谐波是氧化物涂层的关键波长,因为氧化铝的吸收边缘始于该波长范围。对于高功率应用,我们建议根据ArF准分子激光镜技术生产的氟化钙上的氟化涂层。
图5:薄膜偏振片在266nm(a)和213nm(b)的反射光谱:
a)HR(56°,266nm)> 98%+ Rp(56°,266nm)<1%
b)HR(56°,213nm)> 97%+ Rp(56°,213nm)<5%;
请注意,由于上述集合损失,Tp只有75%左右
磁控溅射使我们能够为Nd:YAG激光器的第四和第五谐波提供薄膜偏振片。