Edmund极紫外 (EUV) 球面反射镜
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极紫外 (EUV) 球面反射镜超抛光基片上的钼/硅多层镀膜13.5nm 下可实现的**反射设计用于 EUV 光束聚焦应用适用于 HHG 应用的窄通带极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它
极紫外 (EUV) 球面反射镜超抛光基片上的钼/硅多层镀膜13.5nm 下可实现的**反射设计用于 EUV 光束聚焦应用适用于 HHG 应用的窄通带极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它