旋涂玻璃DC4-500

DC4-500
介电层DC4-500 是一种聚硅氧烷基旋涂介电材料，被用于表面形貌的平坦化处理。
DC4-500 是用作永久性的介电层。
性质：
固体物含量： 4%～6%
主要溶剂： 1-丁醇
表观： 透明液体
绝对过滤： 0.1μm
涂层特征： 无条纹
旋涂厚度（3000 rpm 转40 秒，然后200℃烘培60 秒）： 450～550 nm
加工：
应用于平滑旋涂介电薄膜
♦ 用DC4-500 在晶片上3000 rpm 转40 秒进行甩胶。
♦ 在300℃热板上烘培120 秒。
♦ 按照下述的方案在氮气氛下快速热处理。
步骤 时间（s） 温度（℃）
1 60 300
2 60 500
3 60 800
4 60 1000
♦ 在200 ℃/30 s 的速度下逐渐冷却。

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